* TR Scan 사용 헤드 센서
– CCMP1 : 컨포컬 포인트 센서 2D / 3D 사용
– CCMP2 : 대 구경의 고정밀 측정용 센서 2D / 3D 사용
– CCML1 : 빠른 3D 측정 및 분석이 가능한 라인 센서 3D 사용
제품스펙
* 측정물에 따른 센서의 선택은 당사 전문가와의 상담이 필요합니다.
| CCMP 1 | CL1 | CL2 | CL3 | CL4 | CL5 | CL6 |
| 측정범위 (μm) | 12 | 400 | 1400 | 4000 | 12000 | 24000 |
| 측정물 허용 거리 (mm) | 3.3 | 11 | 12.7 | 16.4 | 29 | 19.6 |
| 분해능 (nano meter) | 8 | 22 | 60 | 130 | 400 | 780 |
| 최대 측정 각도 (°) | ± 42.5 | ± 28 | ± 25 | ± 21 | ± 14 | ± 8.5 |
| CCMP 2 | CL100 | CL300 | CL350 | CL400 | CL600 | CL1000 |
| 측정범위 (μm) | 100 | 300 | 350 | 400 | 600 | 1000 |
| 측정물 허용 거리 (mm) | 1.4 | 4.5 | 8.4 | 15.3 | 6.5 | 19.1 |
| 분해능 (nano meter) | 3 | 10 | 12 | 14 | 20 | 35 |
| 최대 측정 각도 (°) | ± 45 | ± 30 | ± 20 | ± 45 | ± 30 | ± 45 |
| CCMP 2 | CL2 | CL3 | CL6 | CL10 | CL25 |
| 측정범위 (mm) | 2 | 3 | 6 | 10 | 25 |
| 측정물 허용 거리 (mm) | 61 | 22.5 | 35 | 70 | 76.5 |
| 분해능 (nano meter) | 70 | 100 | 200 | 300 | 800 |
| 최대 측정 각도 (°) | ± 15 | ± 30 | ± 25 | ± 20 | ± 15 |
| CCML1 Line | CCML1 0.2mm | CCML1 1mm | CCML1 4mm |
| 수직 측정 범위 | 200 μm | 0.95 mm | 3.9 mm |
| 라인 폭 (mm) | 0.96 ± 0.01 | 1.91 ± 0.01 | 4.78 ± 0.02 |
| 측면 측정 범위 (μm) | 5 | 10 | 25 |
| 측정물 허용 거리 (mm) | 5.3 ± 0.2 | 18.5 ± 0.2 | 41 ± 0.2 |
| 스팟 사이즈 (μm) | 2 | 4 | 10 |
| 축 분해능 (nano meter) | 20 | 80 | 320 |
| 정밀도 21 (nano meter) | ± 80 | ± 300 | ± 1.2 μm |
| 최대 측정 각도 (°) | 90°+/-44° | 90°+/-33° | 90°+/-20° |
| WLI | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| 분해능 (nano meter) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 축 분해능 ( X / Y ) (μm) | 4.81 | 2.77 | 1.2 | 0.9 | 0.66 | 0.52 |
| Z 축 측정 범위 (μm) | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
| X, Y축 측정 범위 (μm) | 4536 x 3447 | 2268 x 1723 | 1134 x 861 | 567 x 430 | 226 x 172 | 113 x 86 |
| 옵티컬 줌 | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| 측정물 허용 거리 (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2 |
Your Standard, Measure M
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