제품소개

Sensor (TR Scan)

* TR Scan 사용 헤드 센서

– CCMP1 : 컨포컬 포인트 센서 2D / 3D 사용

– CCMP2 : 대 구경의 고정밀 측정용 센서 2D / 3D 사용

– CCML1 : 빠른 3D 측정 및 분석이 가능한 라인 센서 3D 사용

– DHM : 반사 재질, 고른 면, 빛 흡수 재질 등 특수 재질의 미세 형상, 조도 측정 센서 3D 사용

제품스펙

* 측정물에 따른 센서의 선택은 당사 전문가와의 상담이 필요합니다.

CCMP 1CL1CL2CL3CL4CL5CL6
측정범위 (μm)12400140040001200024000
측정물 허용 거리 (mm)3.31112.716.42919.6
분해능 (nano meter)82260130400780
최대 측정 각도 (°)± 42.5± 28± 25± 21± 14± 8.5
CCMP 2CL100CL300CL350CL400CL600CL1000
측정범위 (μm)1003003504006001000
측정물 허용 거리 (mm)1.44.58.415.36.519.1
분해능 (nano meter)31012142035
최대 측정 각도 (°)± 45± 30± 20± 45± 30± 45
CCMP 2CL2CL3CL6CL10CL25
측정범위 (mm)2361025
측정물 허용 거리 (mm)6122.5357076.5
분해능 (nano meter)70100200300800
최대 측정 각도 (°)± 15± 30± 25± 20± 15
CCML1 LineCCML1 0.2mmCCML1 1mmCCML1 4mm
수직 측정 범위200 μm0.95 mm3.9 mm
라인 폭 (mm)0.96 ± 0.011.91 ± 0.014.78 ± 0.02
측면 측정 범위 (μm)51025
측정물 허용 거리 (mm)5.3 ± 0.218.5 ± 0.241 ± 0.2
스팟 사이즈 (μm)2410
축 분해능 (nano meter)2080320
정밀도 21 (nano meter)± 80± 300± 1.2 μm
최대 측정 각도 (°)90°+/-44°90°+/-33°90°+/-20°
DHMDHMS1DHMS2DHMS3
Z 축 분해능 (nano meter)0.10.10.1
X, Y 축 분해능 (μm)0.50.60.6
Z 축 측정 범위 (μm)377
X, Y축 측정 범위 (μm)250 x 250330 x 330330 x 330
옵티컬 줌10x7x7x
굴곡측정범위1 (nano meter)850760760
굴곡측정범위2 (nano meter))665665665
측정물 허용 거리 (mm)666
측정 오차 (nano meter)555
WLI2.5x5x10x20x50x100x
분해능 (nano meter)0.10.10.10.10.10.1
축 분해능 ( X / Y ) (μm)4.812.771.20.90.660.52
Z 축 측정 범위 (μm)400400400400400400
X, Y축 측정 범위 (μm)4536 x 34472268 x 17231134 x 861567 x 430226 x 172113 x 86
옵티컬 줌2.5x5x10x20x50x100x
측정물 허용 거리 (mm)10.39.37.44.7342

Your Standard, Measure M

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